半導体産業の状況
半導体はパソコン、携帯電話、テレビ、自動車など、様々な電化製品に使用され、現在の生活にはなくてはならないものとなっています。 特に、携帯電話、自動車用途では、デバイスの信頼性が重要となっています。
半導体製造工程の現状
半導体製造工程では、デバイスの信頼性を向上させる事による製品ロス低減に伴うコスト低減が重要となっています。
半導体製造工程へのフジコムの提案
現状、デバイスの製造ラインでは様々な検査装置を導入し、各工程にて発生する欠陥を特定する事により、 ウェーハの状態をモニタリングしています。フジコムでは、各欠陥の発生要因を特定する為により多くの情報を提供し、 単なるモニタリング装置ではなく、プロセスコントロールを実現する為にPRESTIGEを開発致しました。
PRESTIGEの特徴
歩留り低下に直接起因する問題をいち早く検出し、プロセスにフィードバックする事を特徴としています。 欠陥の位置情報に加え、ウェーハ全面の状態を把握し、欠陥発生要因の切り分けを行います。
PRESTIGEのアプリケーション
リソグラフィ工程、成膜工程、CMP工程、エッチング工程等
PRESTIGEプロセス管理例
フォーカス変動（パターンピッチ変動）、研磨状態、塗布状態、パターン不良、コンタミネーション等
PRESTIGEラインナップ
- (1)PRESTIGE HT
- 量産工程におけるプロセスコントロールを第一目的とし、歩留り低下に結びつく重要欠陥及びウェーハ面内状態の高速検査を実現（120枚/時間）
- (2)PRSTIGE HR
- PRESTIGEの本質を維持しつつ、更に欠陥発生要因の因果関係の詳細確認を行う為に高感度検査を実現
- (3)PRESTIGE HC
- 目視検査や他の計測検査装置にて実施している検査工程に対し、多彩なオプション機能を搭載する事により自動化を実現
PRESTIGE 対応ワーク
8インチ～12インチのウェーハに対応
搬送方法は、オープンカセット、SMIF、FOUP等、各種対応可能
