LED産業の状況
LEDは省エネ・長寿命を始めとし、視認性や小型化など数多くの特徴を備えている事から、 従来の白熱灯や蛍光灯に代わる照明とし、急速にニーズが拡大されてきています。
大型ディスプレイ、家庭用テレビ、携帯電話、パソコンのバックライト等、様々な用途にて使用をされています。
LED製造工程の現状
LEDチップ製造工程では、LEDの使用用途より品質の統一性に取り組んでおります。
特に、輝度や発光色の統一は製品の品質を上げる為に重要となっています。
LED製造工程へのフジコム提案
現状、ウェーハレベルでの製造ラインにおいては、オペレーターでの目視検査が主流となっております。 フジコムでは、処理速度、検査結果の定量的な自動化を実現する為に、POLESTARを開発致しました。
POLESTARの特徴
歩留り低下要因となる欠陥を高速にて検出し、ウェーハ面内の欠陥位置情報より不良となりえるチップの特定を自動で行います。 目視検査では管理が難しいウェーハの反りや膜の厚みのバラつきと輝度との相関を確認し、プロセスへのフィードバックを実現致します。
POLESTARアプリケーション
PSS工程、Litho工程、EPI工程、ITO工程、配線工程、ダイシング工程等
POLESTARのプロセス管理例
PSSパターン異常、露光傾向、EPI成長状態、配線断線、ダイシングによるクラック等
POLESTARラインナップ
- (1)POLESTAR FE（ダイシング前のLEDウェーハ検査用）
- LED製造工程で最も重要となるLEDウェーハの検査に対応。 サファイアウェーハの受入工程からEPI成長工程、チップパターン形成工程までのLEDウェーハの全プロセスに対応し、 歩留り低下が起きやすい箇所の特定などLEDプロセスコントロールを実現
- (2)POLESTAR BE（ダイシング後のLEDチップ検査用）
- ダイシングフレーム上のLEDチップ検査に対応。FEモデルとデータリンクする事により、 ダイシング時のチップ内や外周に発生するクラックの検出と共に、各チップの輝度情報を基にしたグレード分類を実現
- (3)POLESTAR MK（フォトマスク検査用）
- フォトマスクの検査に対応。FEモデルとデータリンクする事により、 マスクの洗浄や交換タイミングをリアルタイムで制御、製造コストの低減を実現
POLESTAR対応ワーク
2インチ～8インチのLEDウェーハ及びダイシング後のLEDチップ、フォトマスクに対応
搬送方法は、オプション仕様にて各種対応可能
