マスク・特殊基板の状況
マスクは、電子部品の製造工程で使用されるパターン原版をガラス、石英等に形成したものであり、 半導体を始めとし、太陽電池セル、タッチパネル等、その用途は多岐に渡っています。
マスク・特殊基板の現状
マスク検査は、製造工程の中で重要な工程の一つで高額な検査装置を用いての管理が行われております。
マスク・特殊基板へのフジコム提案
フジコムでは、定常的にマスクの管理を行う為にコスト低減に重点を置いた自動検査工程を実現する為に、PAPYRUSを開発致しました。
PAPYRUS の特徴
半導体の最先端以外では必ずしも高額な高感度マスク検査装置が必要ではありません。 コスト低減を意識し、検査目的に合わせた感度を持つ検査装置を提供致します。
PAPYRUS アプリケーション
フォトマスク、新材料の開発、評価、量産工程等
PAPYRUS のプロセス管理例
マスクへの付着物、マスクダメージ等
PAPYRUS 対応ワーク
各種ワーク、各種ワークサイズに対応可能
