MEMS産業の状況
MEMSは電気製品や自動車などを中心に急速にニーズが拡大されてきています。 自動車には、圧力センサー、加速度センサー、ジャイロセンサーなど複数のMEMSが使用されており、 家電製品、光通信用部品、化学合成チップ、分析チップ、ライフサイエンスなど新しい分野への応用開発が盛んに行われています。
MEMS製造工程の現状
MEMS製造工程では、半導体工程と同様に薄膜形成、露光、エッチングに加え、MEMS独特な裏面処理やV字溝形成などの工程管理が重要となっています。
MEMS製造工程へのフジコムの提案
MEMSは、独特な処理が入る為、一部工程の検査がオペレーターによる目視検査となっております。 フジコムでは、MEMS製造工程の検査に最適な光学系を採用し、これらの工程の自動化を実現する為に、PASSAGEを開発致しました。
PASSAGE の特徴
表面検査と裏面検査の結果をリンクさせる事により、不良となる問題の特定を自動で行います。
PASSAGE のアプリケーション
リソグラフィ工程、成膜工程、深堀エッチング工程、CMP工程、BG工程等
PASSAGE プロセス管理例
V字溝形状異常、研磨状態、薄膜状態、フォーカス変動（パターンピッチ変動）、塗布状態、パターン不良、コンタミネーション、裏面研磨状態等
PASSAGE 対応ワーク
6インチ～8インチのウェーハに対応
搬送方法は、オープンカセット、SMIF等、各種対応可能
