ナノインプリント産業の状況
ナノインプリントは凹凸のパターンを形成したモールドを基板上のレジストなどへ押し付けパターンを転写する技術です。 この技術を使用する事により、従来は複数回の露光・エッチング工程が必要であったプロセスを大幅に短縮し、 かつ製造コストの低減を実現させる事ができる事から注目されている技術となります。
また、微細加工を必要とするプロセスに対し適応性が高い為、微小光学素子（マイクロレンズなど）、 ストレージメディア（DVDやHDDなど）、ナノバイオ素子（細胞培養素子など）といった分野への展開が行われています。
ナノインプリント製造工程の現状
ナノインプリントの最大の特徴である低コスト化を活かす為に、大面積領域への微細パターンの形成が行われています。
ナノインプリント製造工程へのフジコム提案
現状、ナノインプリントの製造工程においては、オペレーターでの目視による定点観測が主流となっております。 フジコムでは大面積化された様々な素材を用いた基板に対し、高速検査、検査結果の定量化を全自動にて実現する為に、 PREVISIONを開発致しました。
PREVISIONの特徴
モールド検査と転写側基板検査の結果をリンクさせる事により、不良となる問題の特定を行う事が可能です。 ガラスや樹脂素材などを始めとした透明基板やNiなどの金型モールドに対応が可能です。
PREVISIONアプリケーション
金型（Ni）、透明基板フィルム、ガラス樹脂基板、導光板等
PREVISIONのプロセス管理例
モールドへの付着物、モールド上のパターンダメージ、転写時のパターン異常（ピッチ、高さ変動）、スクラッチ、コンタミネーション等
PREVISIONラインナップ
- (1)PREVISION BM（標準仕様）
- 開発実験段階での使用を目的とし、必要となる機能だけを搭載する事により価格メリットを実現
- (2)PREVISION CZ（特殊仕様）
- 開発実験段階から量産段階までの使用を目的とし、自動搬送及び高倍レビュー機能など多彩な検査オプションの搭載を実現
※ロールツーロール方式のナノインプリントに付きましては、組込型モジュール（PULSAR)での運用をお勧めしております。
PREVISION 対応ワーク
各種ワーク、各種ワークサイズに対応可能
