GEM
プロセスコントロール概要
GEM設計開発サポート
SEMIで規定されているGEMの仕様は、非常に複雑かつ多岐にわたり、知識、経験を必要と致します。
弊社ではコストとリスクの低減化を容易に実現する為にGEM設計開発をサポート致します。
OSプラットホーム
基本的な適合プラットホームOSは、業界で知名度及び信頼性が高いWindRiver社製VxWorksです。 その他の組み込み系リアルタイムOSへのプラットホームへの展開も可能ですのでご相談ください。
開発ライセンス
貴社装置への搭載方法は、開発ライセンスの販売にて装置に依存する処理のみ(約全体の10%程度)を追加頂く事で簡単に装置へ搭載可能となっております。 複数台装置への対応はランタイムライセンスを購入頂く事で搭載可能です。
サポートライセンス
年間サポートライセンスを用意しております。サポート内容には下記が含まれます。
■問題解決支援サービス
■情報提供サービス
■バージョンアップ提供サービス
FA構築支援
300mm半導体製造工場を持つデバイスメーカーや大型液晶製造工場を持つ液晶メーカーでは、自動化システムの構築は重要となっております。 弊社では各製造装置とホストコンピュータとの自動化通信構築をサポート致します。
GEM300対応インターフェースで要求されている複雑な各状態モデル(CMSのキャリア)やオブジェクト管理システムの構築をおこないます。
例えば 工程：CMP
消耗部材の交換時期管理・・・研磨時、圧力値、回転数
装置稼働率管理・・・アイドル時間、稼働時間、故障時間
レシピ管理
このシステムでは、通信パラメータのGUI画面からGEM300の通信ソフトが作れるようにも設定ができます。
また、弊社各検査装置の導入及び各製造装置に検査モジュールを組み込む事により総合的な プロセスコントロールを目的としたライン構築が可能となります。
※GEM300を使わない場合は、一般的にSECSだけを使うことができます。
